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產品詳情
簡單介紹：
日本USHIO牛尾分體式投影曝光設備UX-5 系列 塔瑪薩崎（蘇州）電子有限公司
詳情介紹：
型號列表
FC-BGA
FC-CSP
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2.1D
2.5D
封裝
半導體后處理
RDL
鈍化
TSV
TSV底孔
印刷電路板等
FC-CSP
Interposer
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2.5D
封裝
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RDL
鈍化
TSV
TSV底孔
印刷電路板等
UX-7 系列陣容
| 型式 | UX7-Square70 |
|---|---|
| 曝光區 | □70毫米 |
| 板尺寸 | ～□530毫米 |
| 面具 | 6英寸 |
| 解析力 | 2μm L/S |
| 露光波長 | 我線 |
■ 分辨能力：可分辨高達2 μm L/S
| 抗蝕劑厚度 | 5微米 |
| 露光量 | 150mJ/cm 2 |
■ 曝光面積：70 x 70 mm
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