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- 將薄膜厚度測量所需的功能整合到頭部
- 使用顯微分光進行高精度**反射率測量（多層厚度、光學常數）
- 1 點 1 秒以內的高速測量
- 光學系統，在顯微條件下實現寬測量波長范圍（紫外至近紅外）
- 帶區域傳感器的**機制
- 易于分析的向導，即使是初學者也能進行光學常數分析
- 具有可自定義測量序列的宏功能
- 可分析復雜的光學常數（多點分析）
- 支持 300mm 級
- 支持各種定制
可根據樣品的形狀和部位輕松定制測量序列
規格
| 類型 | OPTM-A1 | OPTM-A2 | OPTM-A3 |
| 波長范圍 | 230～800 nm | 360～1100 nm | 900～1600 nm |
| 薄膜厚度范圍*1 | 1 nm～35 μm | 7 nm～49 μm | 16 nm～92 μm |
| 樣本大小*2 | 高達 200×200×17 mm | ||
| 點直徑 | φ5、φ10、φ20、φ40 | ||
* 以上規格與自動XY級。
*1 薄膜厚度范圍為 SiO2轉換。
*2 關于300毫米級，請聯系我們。
| 類型 | 自動 XY 級類型 | 固定框架類型 | 嵌入式頭型 |
|
尺寸 （W×D×H） |
556×566×618 mm | 368×468×491 mm |
210×441×474 mm 90×250×190 mm* |
| 重量 | 66 kg | 38 kg |
23 kg 4 kg* |
| *大功耗 | AC100V±10V 500VA | AC100V±10V 400VA | |
*交流/直流電源單元
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