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產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
旋轉(zhuǎn)涂布機涂布機.com（Mikasa）的產(chǎn)品使用交流伺服電機，因此無刷，因此在潔凈室中污染良好，通過降低電機的發(fā)熱，在連續(xù)使用時，由于溫度升高，薄膜厚度再現(xiàn)性也難以受到影響。
詳情介紹：
產(chǎn)品規(guī)格
| *大電路板尺寸 | 100×100mm 基板 |
| 轉(zhuǎn)速（rpm） | 20～3,000 |
| 旋轉(zhuǎn)精度 | ±1rpm（負(fù)載時） |
| 電機 | 交流伺服電機 |
| 密封蓋 | 鋁/德爾林 |
| 旋轉(zhuǎn)室內(nèi)徑 | φ360mm |
| 步驟模式數(shù) | 100 步× 10 模式 |
| 時間設(shè)置 | 999.9sec |
| **聯(lián)鎖 |
真空標(biāo)準(zhǔn)蓋 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備 |
| 滴落設(shè)備 | 不可安裝 |
| 使用真空壓力 | -0.08～-0.1MPa |
| 公用事業(yè) | 空氣：0.3MPa（用于上部氣缸） |
| 電源 | AC100～240V 5A |
| 外形尺寸 | 540W×460H×630D |
| 重量 | 44kg |
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