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產品詳情
簡單介紹：
使用交流伺服電機，因此無刷，因此在潔凈室中污染良好，通過降低電機的發熱，在連續使用時，由于溫度升高，薄膜厚度再現性也難以受到影響。
詳情介紹：
產品規格
| *大電路板尺寸 | φ6英寸晶圓或100×100mm基板 |
| 轉速（rpm） | 20～7,000 |
| 旋轉精度 | ±1rpm（負載時） |
| 電機 | 交流伺服電機 |
| 蓋 | 丙烯酸 |
| 旋轉室內徑 | φ290mm |
| 步驟模式數 | 100 步× 10 模式 |
| 時間設置 | 999.9sec |
| **聯鎖 |
真空標準蓋 選項 |
| 滴落設備 | 選項 |
| 使用真空壓力 | -0.08～-0.1MPa |
| 電源 | AC100～240V 5A |
| 外形尺寸（mm） | 352W×303H×432D |
| 重量 | 16kg |
* 規格如有更改，恕不另行通知。
支持選項
| <定制類型> | >支持<的型號 | |
|---|---|---|
| 自動滴落裝置（空氣驅動） | 1 臂 | ○ |
| 2 臂 | ○ | |
| 自動滴落裝置（支架類型） | ○ | |
| 邊緣沖洗 | ○ | |
| 反向沖洗 | ○ | |
| 排氣管 | ○ | |
| 廢液排放 | ○ | |
| 蓋子限位開關 | ○ | |
| 特氟龍涂層加工 | ○ | |
| 添加電機廢熱風扇 | ○ | |
| 緊急停止開關 | ○ | |
| 大功率電機 | ||
對準曝光機
MA-10B、MA-20、MA-60F、M-1S、M-2LF、
旋轉涂布機
MS-B100、MS-B150、MS-B200、MS-B300、MS-B200（密封）、MS-B300（ 密封）
顯影刻蝕裝置
AD-1200
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ED-1200
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MA-10B、MA-20、MA-60F、M-1S、M-2LF、
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