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產品詳情
簡單介紹：
由于旋涂機應用機（MIKASA）的產品由于使用交流伺服電機而無刷，因此在潔凈室中的污染性非常出色，并且通過減少電機的發熱，在連續使用過程中很難因溫度升高而影響薄膜厚度的再現性。
詳情介紹：
產品規格
*大電路板尺寸
150×150毫米印刷電路板
速度（轉/分）
20~3，000
旋轉精度
±1轉/分（負載時）
發動機
交流伺服電機
密封蓋
鋁/德爾林
旋轉室直徑
φ500毫米
步進模式數
100 步× 10 種模式
時間設置
999.9秒
**聯鎖
真空標配設備蓋標配設備
滴水裝置
可選（*多可連接 1 個臂）
使用的真空壓力
-0.08~-0.1兆帕
效用
空氣：0.3MPa（上缸）
權力
AC200~240V 單相 5A
外部尺寸（毫米）
570W×590H×650D
重量
65公斤
| *大電路板尺寸 | 150×150毫米印刷電路板 |
| 速度（轉/分） | 20~3，000 |
| 旋轉精度 | ±1轉/分（負載時） |
| 發動機 | 交流伺服電機 |
| 密封蓋 | 鋁/德爾林 |
| 旋轉室直徑 | φ500毫米 |
| 步進模式數 | 100 步× 10 種模式 |
| 時間設置 | 999.9秒 |
| **聯鎖 |
真空標配設備蓋標配設備 |
| 滴水裝置 | 可選（*多可連接 1 個臂） |
| 使用的真空壓力 | -0.08~-0.1兆帕 |
| 效用 | 空氣：0.3MPa（上缸） |
| 權力 | AC200~240V 單相 5A |
| 外部尺寸（毫米） | 570W×590H×650D |
| 重量 | 65公斤 |
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