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  • 產品名稱:MDCOM株式會社MEIRM-1-700間歇式準分子輻照系統

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  • 產品廠商:MDCOM株式會社
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簡單介紹:
塔瑪薩崎電子銷售MDCOM株式會社MEIRM-1-700間歇式準分子輻照系統MEIR-S系列是帶有集成輻照室的準分子輻照裝置。輻照室的尺寸和形狀可根據客戶的樣品和輻照方法定制。 也可以使用帶有滾輪輻照旋轉機構的輻照裝置。
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MEIR-S系列MEIRM-1-700是帶有集成輻照室的準分子輻照裝置。
輻照室的尺寸和形狀可根據客戶的樣品和輻照方法定制。
也可以使用帶有滾輪輻照旋轉機構的輻照裝置。

參考規格

蘋果 XE(氙氣)準分子燈*1
波長 172納米
安裝的燈具數量 從1個*1開始的定制設計
有源發射長度 200毫米~750毫米 *2
光。。。。。。。。。。。。 標準 70mW/c㎡以上(大氣和管面照度)*3
光。。。。。。。。。。。。 高照度 120mW/c㎡以上(大氣和管面照度)*3
光。。。。。。。。。。。。 內管水冷高照度 170mW/c㎡以上(大氣和管面照度)*3
照度均勻性 ± 10% 以內
照射距離調節功能 2毫米~25毫米
N2流量計 是(*大流量取決于燈的數量)
CDA 流量計 是(*大流量取決于燈的數量)
石英燈拉出式窗口 是的
排氣設備 排氣鼓風機和臭氧過濾器
臭氧泄漏監測儀 選擇
■ 注
*1 燈管數量、有效長度、照射設備尺寸:定制*2 支持以10mm有效燈長為增量進行定制
。
*3 照明后立即測量大氣管表面(使用照度計C9536/H9535-172測量)


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