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代理日本品牌：OTSUKA大塚電子（薄膜測(cè)厚儀、相位差膜設(shè)備等）、USHIO牛尾點(diǎn)光源、CCS檢查光源、Aitec艾泰克、REVOX萊寶克斯、ONOSOKKI小野測(cè)器、YAMATO雅馬拓、KOSAKA小坂臺(tái)階儀、SEN特殊光源、TSUBOSAKA壺坂電機(jī)、NEWKON新光、TOKISANGYO東機(jī)產(chǎn)業(yè)、tokyokeiso東京計(jì)裝、leimac雷馬克、MIKASA米卡薩勻膠機(jī)、COSMO科斯莫、SAKURAI櫻井無(wú)塵紙、TOE東京光電子、EYE巖崎UV燈管、SANKO山高、HOYA豪雅光源、日本IMV愛(ài)睦威地震儀、HOKUYO北陽(yáng)電機(jī)、SAKAGUCHI坂口電熱、ThreeBond三鍵膠水等.
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AMAYA天谷制作所MOCVD 氣相沉積設(shè)備; Doctor-TTM ? 8 英寸晶圓兼容 ? 可 沉積金屬氧化膜、金屬氮化膜等 ? 采用 磚利無(wú)氯氣化器 ? 擁有 4 種 MO 材料線 ? 單室/雙腔室 可選
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156mm 方形/小時(shí) 1500 張吞吐量 ? 通過(guò)采用 SiC 托盤(pán)解決重金屬污染問(wèn)題， 以及通過(guò)改進(jìn)托盤(pán)支架進(jìn)行背面旋轉(zhuǎn)措施 氣相沉積設(shè)備
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● 低溫 （150~300°C） 處理 ● 形成 高品質(zhì)的SiO2膜 低應(yīng)力 、 無(wú)等離子體損傷 、 小顆粒 ? 降低 導(dǎo)入和維護(hù)成本 小占地面積 、 無(wú)需 真空 · 等離子體處理 ● 價(jià)格低廉 氣相沉積設(shè)備
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? 批量 常壓 CVD 設(shè)備，用于在大型托盤(pán)中裝載多個(gè)晶圓 氣相沉積設(shè)備
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氣相沉積設(shè)備 ● ±2%以內(nèi)的膜厚均勻性 ● 低溫工藝對(duì)應(yīng) ● 抑制 顆粒產(chǎn)生 ● 提高 維護(hù)性 ● 緊湊的裝置結(jié)構(gòu) ● 提高 **性 ● 良好的臺(tái)階覆蓋性
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AMAYA天谷制作所連續(xù)常壓 CVD設(shè)備A6300S ●6英寸~120張/小時(shí)吞吐量 ●采用SiC托盤(pán)的重金屬污染對(duì)策 氣相沉積設(shè)備
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● 8英寸/小時(shí)100張高通量 ●采用SiC托盤(pán)，可應(yīng)對(duì)重金屬污染， 實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)期穩(wěn)定工藝 ●提高維護(hù)性 氣相沉積設(shè)備
