產品規格

*大電路板尺寸	φ8英寸晶圓或150×150mm基板
速度（轉/分）	20~5，000
旋轉精度	±1轉/分（負載時）
發動機	交流伺服電機
蓋	聚碳酸酯
旋轉室直徑	φ360毫米
步進模式數	100 步× 10 種模式
時間設置	999.9秒
**聯鎖	真空標配設備蓋標配設備
滴水裝置	選擇
使用的真空壓力	-0.08~-0.1兆帕
權力	交流100~240V 5A
外部尺寸（毫米）	500W×335H×583D
重量	28公斤

* 規格如有更改，恕不另行通知。

支持的選項

<定制類型>		<兼容型號>
?自動滴水裝置（氣動型）	1 臂	○
	2 臂	○
?自動滴水裝置（支架式）		○
?漱邊		○
?背部沖洗		○
?排氣管		○
?廢液排放		○
?鄰苯二甲酰亞胺開關		○
?特氟龍涂層		○
?增加電機余熱風扇		○
?急停開關		○
?大功率電機

選型支持 技術服務 售后安裝調試維修

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