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產品詳情
簡單介紹：
國內總代 KOSAKA小坂膜厚儀探針接觸式臺階儀ET200A-3D能**可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨 損度、薄膜應力等多種表面形貌技術參數。 ET200A 配備了各種型號探針，提供了通過過程控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色CCD 原位采集設計，可直接觀察到探針工作時的狀態，更方便準確的定位測試區域。
詳情介紹：
國內總代KOSAKA小坂膜厚儀探針接觸式臺階儀ET200A-3D
日本小坂KOSAKA 臺階儀 | 微細形狀測定機ET200A概述
ET200A基于Windows 操作系統為多種不同表面提供**的形貌分析，包括半 導體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫學器件、 薄膜/化學涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石（鉆石）探針接觸測量的方式來實現高 精度表面形貌分析應用。ET200A 能**可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨 損度、薄膜應力等多種表面形貌技術參數。 ET200A 配備了各種型號探針，提供了通過過程控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色CCD 原位采集設計，可直接觀察到探針工作時的狀態，更方便準確的定位測試區域。
它是2D表面粗糙度分析和階梯測量的理想選擇，可實現高精度，高分辨率和出色的穩定性，并且還支持測量力小的軟樣品表面。
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ET200A：表面粗糙度分析和階梯測量的理想選擇
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ET200A-D：配備電動Y軸單元
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ET200A-3D：<>D 表面粗糙度分析和階躍差測量的理想選擇
| *大樣本量 | Φ160×厚度52毫米 |
|---|---|
| 再現性 | 1σ 0.3nm以內 |
| 測量范圍 | Z軸：600微米 X：100毫米 |
| 分辨率 | Z軸：0.1納米 X：0.1微米 |
| 測量力 | 10μN~500μN |
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